台積高層稱:A16技術不一定使用ASML最新機台
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標題: 台積高層稱:A16技術不一定使用ASML最新機台
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發表時間: 2024-05-15 21:44:48
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曝光機
描述: 台積電高層15日透露,台積電預定在2026下半年發布的次世代技術製程「A16」,不一定需要使用荷蘭半導體設備業龍頭艾司摩爾(ASML)最新型機台,主要原因是設備價格非常高昂,外媒披露一部高數值孔徑極紫外光曝光機(High-NA EUV)就要價超過新台幣百億元。
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