蔡司半導體部門負責人:中國要研發出西方水準EUV至少還要15年
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標題: 蔡司半導體部門負責人:中國要研發出西方水準EUV至少還要15年
作者: 曾智能
發表時間: 2026-09-04 07:05:57
蔡司
EUV
半導體設備
上海
DUV
中國
ASML
描述: 分析師比對中國專利與子系統成熟度後指出,中國目前的 EUV 技術狀態大約相當於...
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