High-NA EUV 發展未歇,英特爾率先採用、台積電與三星推進量產時程
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標題: High-NA EUV 發展未歇,英特爾率先採用、台積電與三星推進量產時程
作者: TechNews 編輯台
發表時間: 2026-11-02 10:00:17
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晶片
High-NA EUV
Panther Lake
英特爾
描述: 高數值孔徑(High-NA)EUV 微影一度被質疑設備昂貴、曝光場縮小、經濟效益難算。SemiWiki 分析指 […]
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